納米硬度（HNT）對材料的壓入深度在50-1000nm，可用于有機無(wú)機材料（液體除外）和涂層材料的硬度評定。納米劃痕儀（NST）用于表征厚度小于1000 nm 的薄膜或涂層的附著(zhù)力以及抗劃擦強度或抗擦傷性，分析有機涂層和無(wú)機涂層，硬質(zhì)涂層和軟性涂層與基體結合強度，配有摩擦力傳感器

測量納米硬度一般采用新興的納米壓痕技術(shù) (nano-indentation)，由于采用納米壓痕技術(shù)可以在極小的尺寸范圍內測試材料的力學(xué)性能，除了塑性性質(zhì)外，還可反映材料的彈性性質(zhì)，得到了越來(lái)越廣泛的應用。

納米壓痕技術(shù)也稱(chēng)深度敏感壓痕技術(shù)（Depth-Sensing Indentation， DSI)，是最簡(jiǎn)單的測試材料力學(xué)性質(zhì)的方法之一，可以在納米尺度上測量材料的各種力學(xué)性質(zhì)，如載荷-位移曲線(xiàn)、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應變硬化效應、粘彈性或蠕變行為等。

硬度（hardness）是評價(jià)材料力學(xué)性能的一種簡(jiǎn)單、高效的手段，關(guān)于硬度的定義尚未統一。從作用形式上，可定義為“某物體抵抗因另一物體（場(chǎng)）作用而產(chǎn)生變形的能力的度量”；從變形機理上，可定義為“抵抗彈性變形、塑性變形和破壞的能力”或“材料抵抗殘余變形和破壞的能力”。硬度本身不是一個(gè)物理量，而是材料局部區域力學(xué)性能在特定條件下的整體表現。它是材料對外界物體機械作用（壓入或刻劃）的局部抵抗能力的一種表現。

又名：壓痕儀/硬度計/顯微鏡硬度計/超顯微硬度計/動(dòng)態(tài)超顯微硬度計/納米硬度計,是一種用于表征各種涂層、薄膜的機械性能、產(chǎn)品品質(zhì)，包括硬度、彈性模量和斷裂韌性等，表征的材料幾乎包括所有類(lèi)型的材料：柔軟、硬質(zhì)、脆性或延展性材料。

納米硬度使用場(chǎng)所

（1）半導體技術(shù)：保護層、金屬層等

（2）數據存儲：磁盤(pán)保護涂層、圓盤(pán)基底上的磁性涂層、CD上的保護涂層等

（3）光學(xué)元件：光學(xué)抗劃涂層、接觸棱鏡

（4）裝飾涂層：蒸發(fā)金屬涂層

（5）抗磨損涂層：TiN、TiC、DLC、刀具、模具、手機外殼等

（6）藥理學(xué)：藥片和藥丸、植入器官、生物組織

（7）汽車(chē)：油漆和聚合物、清漆和修飾、玻璃窗、剎車(chē)片

（8）一般工程技術(shù)應用：抗耐性橡膠、觸摸屏、潤滑劑和潤滑油、自潤滑系統

（9）MEMS微電子領(lǐng)域等

根據總施加載荷的大小：

宏觀(guān)硬度（日本、美國和前蘇聯(lián)等定為10N以上，歐共體國家和國際機構則定為2N以上）

顯微硬度（上限：10N或2N；下限：10mN左右）

納米硬度（一般在700mN以下，有的生產(chǎn)商為了便于研究者模擬顯微硬度，配有10N載荷附件。）

宏觀(guān)硬度和顯微硬度適用于較大尺寸的試樣，僅能得到材料的塑性性質(zhì)，隨著(zhù)現代材料表面工程（氣相沉積、濺射、離子注入、高能束表面改性、熱噴涂等）、微電子、集成微光機電系統、生物和醫學(xué)材料的發(fā)展、試樣本身活表面改性層厚度越來(lái)越小，人們在設計時(shí)不僅要了解材料的塑性性質(zhì)，更需要掌握材料的彈性性質(zhì)。傳統的硬度測量已無(wú)法滿(mǎn)足新材料研究的需要，納米硬度技術(shù)應運而生。

納米硬度計有兩種壓痕硬度和劃痕硬度兩種工作模式，它是一種檢測材料微小體積內力學(xué)性能的先進(jìn)測試儀器。由于壓痕或劃痕深度一般控制在微米甚至納米尺度，該儀器是進(jìn)行電子薄膜、各類(lèi)涂層、材料表面及其該改性的力學(xué)性能檢測的理想手段。它不需要將表層從基體上剝離，可以直接給出材料表層力學(xué)性質(zhì)的空間分布，例如，能檢測出焊點(diǎn)及其附近材料的力學(xué)性質(zhì)。由于試樣準備簡(jiǎn)單，材料達到可以用其他宏觀(guān)方法檢測，該方法仍然是一種可以選擇的方法。