鋰電池國家檢測，氣體傳感器檢測機構(gòu)

傳感器的發(fā)展歷程主要有三種，傳感器在代類屬于結(jié)構(gòu)型，主要針對目標(biāo)為信號，并對信號進行處理工作；第二代則是固體傳感器，這類固體傳感器與一代有著較大的差距，能夠更好地處理相關(guān)的信息數(shù)據(jù)；而第三代是智能傳感器，能夠靈活判斷周邊情況，通過更加科學(xué)合理的方式處理各類信息數(shù)據(jù)。53

在20世紀(jì)70年代，伴隨著微電子技術(shù)、信號檢測與處理技術(shù)、計算機和網(wǎng)絡(luò)通信等科學(xué)技術(shù)的快速進步，傳感器系統(tǒng)得到了廣泛的發(fā)展。這一時期涌現(xiàn)出了許多重要的傳感器技術(shù)和應(yīng)用。54

其中，20世紀(jì)70年代是以下傳感器發(fā)展的重要里程碑：

1. MEMS壓力傳感器：在這一時期，針對基于電容敏感原理的MEMS壓力傳感器進行了廣泛的研究和開發(fā)。55