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INFICON Quantus HP100氣體分析儀

單價: 面議
發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 天內發(fā)貨
所在地: 福建 廈門
有效期至: 長期有效
發(fā)布時間: 2023-12-13 22:36
最后更新: 2023-12-13 22:36
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詳細說明

INFICON HP100氣體分析儀基于自等離子體光發(fā)射光譜技術(SPOES),旨在提供半導體制造過程中的實時泄漏檢測、端點檢測和過程監(jiān)控。 HP100具有出色的靈敏度,外形緊湊,提供寬廣的操作壓力范圍,無需昂貴的泵,非常適合大多數半導體工具的過程監(jiān)控和保護。

特點

氬氣的操作范圍為1 Torr - 450 Torr,氮氣的操作范圍為1 Torr - 120 Torr(其他氣體種類則有所不同)

低檢測限規(guī)格

操作壓力1 Torr - 450 Torr (取決于應用)


光譜儀性能200至850納米波長(紫外-可見光) 16位全尺度分辨率,3648像素


檢測極限< 1 ppm (取決于應用)


曝光時間少1毫秒


真空配件KF25


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