分子泵

STP-iX455

STP-iXL455

STP-iXR1606

STP-iXR2206

STP-iXA2206C

STPiX3006

STP-iXA3306C

STP-iXA4506C

Edwards STP集成控制器分子泵系列提供了行業(yè)的性能，并具有緊湊的尺寸集成板上控制單元。集成控制器不需要傳統(tǒng)的機(jī)架式控制器和互連電纜。采用新開發(fā)的革命性轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，提高了泵送性能。這個(gè)完全集成的產(chǎn)品提供了簡(jiǎn)單的安裝和占用空間小，所有應(yīng)用程序工具的一體化解決方案。

特點(diǎn)

提高的生產(chǎn)率-的高吞吐量與更快的泵下到基本壓力

體積緊湊-節(jié)省空間，便于安裝

低擁有成本-低電力和公用事業(yè)消耗

免維護(hù)-經(jīng)濟(jì)實(shí)惠

應(yīng)用

研發(fā)

計(jì)量和微觀應(yīng)用

Pre-clean過程

玻璃涂料系統(tǒng)

內(nèi)聯(lián)/批涂層系統(tǒng)

鋼脫氣

固態(tài)照明

半導(dǎo)體和FPD蝕刻系統(tǒng)

同步掃描電子顯微鏡(SEM)