dressler電源維修LFGS-1250C射頻電源維修

LFGS射頻發(fā)生器是用于半導體生產(chǎn)和一般等離子處理的多功能射頻發(fā)生器。此類(lèi)可變頻率發(fā)生器采用了一種半橋、D類(lèi)型放大器理念，是一種空冷式緊湊型的設計，可安裝在19英寸機架上面。應用包括濺射、等離子蝕刻、化學(xué)氣象沉積、聚合以及表面處理設備上。

維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統，工業(yè)系統中感應加熱和電介質(zhì)加熱設備的電源，烘干、塑化、硅晶體生長(cháng)和平板顯示器領(lǐng)域應用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息設備(ITE)及輕工業(yè)系統、鍍膜設備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修，為太陽(yáng)能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設備電源，包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。